| 產(chǎn)品名稱 | 產(chǎn)量 Nm3/h | 純 度 | 出冷箱壓力MPa(G)
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出界區(qū)溫度℃ | 備注 |
| 氧 氣 | 6500 | 99.6％O2 | 0.02 | 40 | 外壓縮3.0 MPa |
| 液 氧 | 100 | 99.6％O2 | 0.05 | 飽和 | 進貯槽 |
| 氮 氣 | 6500 |
≤10PPm O2 |
0.015 | 40 | 外壓縮2.5 MPa |
| 液 氬 | 180 |
≤2PPm O2 ≤3PPm N2 |
0.05 | 飽和 | 進貯槽
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